• $Class_Title$
  • 您的位置:首页 > 常见问题
  • 选用真空泵时,注意事项

    更新:2016/6/27 9:50:59 点击:

    选用真空泵时,需要注意下列事项:

      1、真空泵 的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如:真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度,选用的 真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选 择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。

      2、正确地 选择真空泵的工作点。每种泵 都有一定的工作压强范围,如:扩散泵为10-3~10-7mmHg,在这样宽压强范围内,泵的抽 速随压强而变化,其稳定 的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而,泵的工 作点应该选在这个范围之内,而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作,但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好。

      3、真空泵 在其工作压强下,应能排 走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

      4、正确地组合真空泵。由于真 空泵有选择性抽气,因而,有时选 用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补 充才能满足抽气要求。如钛升 华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极 型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速,两者组合起来,便会使 真空装置得到较好的真空度。另外,有的真 空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真 空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需 要把泵组合起来使用。

      5、真空设 备对油污染的要求。若设备 严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一 些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达 到清洁真空要求。

      6、了解被抽气体成分,气体中 含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵时,需要知道气体成分,针对被 抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考 虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。

      7、真空泵 排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环 境不允许有污染,可以选无油真空泵,或者把 油蒸气排到室外。

      8、真空泵 工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许,应选择 无振动的泵或者采取防振动措施。

      9、真空泵的价格、运转及维修费用。

    博山真空泵|山东淄博真空泵|山东博 山真空泵厂有限公司 页面版权所有 销售经理:刘善新 手机:13953348757 copyright(2016)技术支持:淄博龙辰信息技术
    友情链接:    马德里皇宫彩票游戏   双色球开奖走势图表   亚博娱乐返水   亚太娱乐app   英皇彩票注册